研究室紹介
半導体デバイス工学 研究室 / 中村 徹 教授
■ 研究テーマ 「電子の速度の限界に挑戦」
「電気の速度の限界に挑戦」私たちが日常使っているコンピュータは年々高速そして高機能となり、また携帯機器はより小さく、低消費電力となっています。
これらの電子機器の高性能化はその内部に使われている半導体デバイス技術の進歩に依っているといっても過言ではありません。
本研究室では、ハイブリッド自動車、通信機器に用いられているパワー半導体デバイスおよび高周波半導体デバイスの高性能化に関する研究を行っています。
具体的には、今までよりももっと高性能な、そして新しい構造のトランジスタはどうあるべきかという研究です。
トランジスタの種類としては、携帯電話などに用いられている化合物半導体を用いたHEMTや、最近注目を集めているワイドギャップ半導体材料を使った新しいトランジスタの研究も進めています。
・デバイス構造シミュレーション
半導体デバイスシミュレータを使った新しいトランジスタ構造の提案、高速化構造等について検討しています。トランジスタの構造をインプットするとその性能が予測できます。
・半導体デバイスの試作と評価
マイクロナノテクノロジー研究センタの装置を使用してダイオードやトランジスタを実際に試作してその特性を評価しています。またイオンビーム工学研究所と共同で不純物分布等の解析を行っています。
・デバイス外観
・試作したトランジスタの断面構造
■ 学会での発表風景
得られた成果は積極的に国内および国際学会で発表しています。